ڪيميڪل-مڪينيڪل پالشنگ (سي ايم پي) اڪثر ڪري ڪيميائي رد عمل ذريعي هموار سطحون پيدا ڪرڻ ۾ شامل هوندي آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي صنعت ۾ ڪم ڪري ٿي.لون ميٽر، ان لائن ڪنسنٽريشن ماپ ۾ 20 سالن کان وڌيڪ مهارت سان هڪ قابل اعتماد جدت پسند، جديد ترين پيش ڪري ٿوغير نيوڪليئر کثافت ميٽر۽ سلري مئنيجمينٽ جي چئلينجن کي منهن ڏيڻ لاءِ ويسڪوسيٽي سينسر.
سلري جي معيار جي اهميت ۽ لون ميٽر جي مهارت
ڪيميڪل ميڪينڪل پالشنگ سلري سي ايم پي عمل جي ريڙهه آهي، جيڪا سطحن جي هڪجهڙائي ۽ معيار کي طئي ڪري ٿي. غير مطابقت رکندڙ سلري کثافت يا ويسڪوسيٽي مائڪرو اسڪريچ، غير مساوي مواد هٽائڻ، يا پيڊ ڪلوگنگ، ويفر جي معيار کي سمجهوتو ڪرڻ ۽ پيداوار جي قيمتن ۾ واڌ جهڙن خرابين جو سبب بڻجي سگهي ٿي. صنعتي ماپ جي حلن ۾ هڪ عالمي اڳواڻ، لون ميٽر، بهترين سلري ڪارڪردگي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ان لائن سلري ماپ ۾ ماهر آهي. قابل اعتماد، اعليٰ صحت واري سينسر پهچائڻ جي ثابت ٿيل ٽريڪ رڪارڊ سان، لون ميٽر پروسيس ڪنٽرول ۽ ڪارڪردگي کي وڌائڻ لاءِ معروف سيمي ڪنڊڪٽر ٺاهيندڙن سان ڀائيواري ڪئي آهي. انهن جا غير نيوڪليئر سلري کثافت ميٽر ۽ ويسڪوسيٽي سينسر حقيقي وقت ڊيٽا مهيا ڪن ٿا، سلري تسلسل کي برقرار رکڻ ۽ جديد سيمي ڪنڊڪٽر پيداوار جي سخت مطالبن کي پورو ڪرڻ لاءِ صحيح ترتيبن کي فعال ڪن ٿا.
ان لائن ڪنسنٽريشن ماپ ۾ ٻن ڏهاڪن کان وڌيڪ تجربو، جنهن تي اعليٰ سيمي ڪنڊڪٽر فرمون اعتبار ڪن ٿيون. لون ميٽر جا سينسر بي عيب انضمام ۽ صفر سار سنڀال لاءِ ٺهيل آهن، آپريشنل خرچن کي گهٽائي رهيا آهن. مخصوص عمل جي ضرورتن کي پورو ڪرڻ لاءِ تيار ڪيل حل، اعليٰ ويفر پيداوار ۽ تعميل کي يقيني بڻائي رهيا آهن.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ جو ڪردار
ڪيميڪل ميڪينڪل پالشنگ (سي ايم پي)، جنهن کي ڪيميڪل-مڪينڪل پلانرائيزيشن پڻ چيو ويندو آهي، سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جو هڪ بنياد آهي، جيڪو جديد چپ جي پيداوار لاءِ فليٽ، خرابين کان پاڪ سطحن جي تخليق کي فعال بڻائي ٿو. ڪيميڪل ايچنگ کي ميڪيڪل ابريشن سان گڏ ڪرڻ سان، سي ايم پي عمل 10nm کان گهٽ نوڊس تي ملٽي ليئرڊ انٽيگريٽڊ سرڪٽس لاءِ گهربل درستگي کي يقيني بڻائي ٿو. ڪيميڪل ميڪينڪل پالشنگ سلري، پاڻي، ڪيميائي ري ايجنٽس، ۽ ابريسيو ذرڙن تي مشتمل، پالشنگ پيڊ ۽ ويفر سان رابطو ڪري ٿو ته جيئن مواد کي هڪجهڙائي سان هٽايو وڃي. جيئن سيمي ڪنڊڪٽر ڊيزائن ترقي ڪن ٿا، سي ايم پي عمل وڌندڙ پيچيدگي کي منهن ڏئي ٿو، خرابين کي روڪڻ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر فاؤنڊيريز ۽ مواد سپلائرز پاران گهربل هموار، پالش ٿيل ويفرز حاصل ڪرڻ لاءِ سلري خاصيتن تي سخت ڪنٽرول جي ضرورت آهي.
هي عمل گهٽ ۾ گهٽ نقصن سان 5nm ۽ 3nm چپس پيدا ڪرڻ لاءِ ضروري آهي، جيڪو ايندڙ پرتن جي صحيح جمع لاءِ فليٽ سطحن کي يقيني بڻائي ٿو. جيتوڻيڪ معمولي سلري جي تضاد مهانگي ٻيهر ڪم يا پيداوار جي نقصان جو سبب بڻجي سگهي ٿو.
سلري پراپرٽيز جي نگراني ۾ چئلينجز
ڪيميائي ميڪيڪل پالشنگ جي عمل ۾ مسلسل سلري کثافت ۽ ويسڪوسيٽي کي برقرار رکڻ چئلينجن سان ڀريل آهي. سلري خاصيتون ٽرانسپورٽ، پاڻي يا هائيڊروجن پيرو آڪسائيڊ سان ملائي، نا مناسب ملاوٽ، يا ڪيميائي تباهي جهڙن عنصرن جي ڪري مختلف ٿي سگهن ٿيون. مثال طور، سلري ٽوٽس ۾ ذرڙن جي آباد ٿيڻ سان تري ۾ وڌيڪ کثافت پيدا ٿي سگهي ٿي، جنهن جي ڪري غير يونيفارم پالش ٿي سگهي ٿي. روايتي نگراني جا طريقا جهڙوڪ پي ايڇ، آڪسائيڊيشن-ريڊڪشن پوٽينشل (ORP)، يا چالکائي اڪثر ڪري نا مناسب هوندا آهن، ڇاڪاڻ ته اهي سلري جي جوڙجڪ ۾ معمولي تبديلين کي ڳولڻ ۾ ناڪام ٿين ٿا. اهي حدون خرابيون، گهٽ هٽائڻ جي شرح، ۽ استعمال ٿيندڙ قيمتن ۾ اضافو ٿي سگهن ٿيون، جيڪي سيمي ڪنڊڪٽر سامان ٺاهيندڙن ۽ سي ايم پي سروسز فراهم ڪندڙن لاءِ اهم خطرا پيدا ڪن ٿيون. هينڊلنگ ۽ ڊسپينسنگ دوران ساختي تبديليون ڪارڪردگي کي متاثر ڪن ٿيون. ذيلي 10nm نوڊس سلري جي پاڪائي ۽ مرکب جي درستگي تي سخت ڪنٽرول جي ضرورت آهي. پي ايڇ ۽ ORP گهٽ ۾ گهٽ تبديلي ڏيکاري ٿو، جڏهن ته چالکائي سلري جي عمر سان مختلف ٿئي ٿي. غير متضاد سلري خاصيتون صنعت جي مطالعي مطابق، خرابي جي شرح کي 20٪ تائين وڌائي سگهن ٿيون.
ريئل ٽائيم مانيٽرنگ لاءِ لون ميٽر جا ان لائن سينسر
لون ميٽر انهن چئلينجن کي پنهنجي جديد غير نيوڪليئر سلري ڊينسٽي ميٽرن سان حل ڪري ٿو ۽ويسڪوسيٽي سينسر، جنهن ۾ ان لائن ويسڪوسيٽي ميٽر ان لائن ۽ هڪ ئي وقت ۾ سلري ڊينسٽي ۽ ويسڪوسيٽي مانيٽرنگ لاءِ الٽراسونڪ ڊينسٽي ميٽر شامل آهن. اهي سينسر سي ايم پي عملن ۾ بيحد انضمام لاءِ ٺاهيا ويا آهن، جن ۾ انڊسٽري-معياري ڪنيڪشن شامل آهن. لون ميٽر جا حل ان جي مضبوط تعمير لاءِ ڊگهي مدت جي اعتبار ۽ گهٽ سار سنڀال پيش ڪن ٿا. ريئل ٽائيم ڊيٽا آپريٽرز کي سلري بلينڊ کي ٺيڪ ڪرڻ، خرابين کي روڪڻ، ۽ پالش ڪرڻ جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائڻ جي قابل بڻائي ٿو، انهن اوزارن کي تجزيو ۽ جانچ جي سامان جي سپلائرز ۽ سي ايم پي استعمال ٿيندڙ سپلائرز لاءِ ناگزير بڻائي ٿو.
سي ايم پي جي اصلاح لاءِ مسلسل نگراني جا فائدا
لون ميٽر جي ان لائن سينسرز سان مسلسل نگراني ڪيميائي ميڪيڪل پالشنگ جي عمل کي عمل جي قابل بصيرت ۽ اهم خرچ جي بچت ذريعي تبديل ڪري ٿي. ريئل ٽائيم سلري ڊينسٽي ماپ ۽ ويسڪوسيٽي مانيٽرنگ انڊسٽري بينچ مارڪ جي مطابق، خراش يا اوور پالشنگ جهڙن خرابين کي 20٪ تائين گھٽائي ٿي. پي ايل سي سسٽم سان انضمام خودڪار ڊوزنگ ۽ پروسيس ڪنٽرول کي فعال بڻائي ٿو، يقيني بڻائي ٿو ته سلري خاصيتون بهترين حدن اندر رهن. اهو استعمال ٿيندڙ خرچن ۾ 15-25٪ گهٽتائي، گهٽ ۾ گهٽ ڊائون ٽائيم، ۽ بهتر ويفر يونيفارمي جي طرف وٺي ٿو. سيمي ڪنڊڪٽر فاؤنڊيريز ۽ سي ايم پي سروسز فراهم ڪندڙن لاءِ، اهي فائدا بهتر پيداوار، وڌيڪ منافعي جي مارجن، ۽ ISO 6976 جهڙن معيارن جي تعميل ۾ ترجمو ڪن ٿا.
سي ايم پي ۾ سلري مانيٽرنگ بابت عام سوال
سي ايم پي لاءِ سلري ڊينسٽي ماپ ڇو ضروري آهي؟
سلري کثافت جي ماپ هڪجهڙائي واري ذرڙن جي ورڇ ۽ مرکب جي تسلسل کي يقيني بڻائي ٿي، خرابين کي روڪي ٿي ۽ ڪيميائي ميڪيڪل پالشنگ جي عمل ۾ هٽائڻ جي شرح کي بهتر بڻائي ٿي. اهو اعليٰ معيار جي ويفر پيداوار ۽ صنعت جي معيارن جي تعميل جي حمايت ڪري ٿو.
ويسڪوسيٽي مانيٽرنگ سي ايم پي جي ڪارڪردگي کي ڪيئن وڌائي ٿي؟
ويسڪوسٽي مانيٽرنگ مسلسل سلري وهڪري کي برقرار رکي ٿي، پيڊ بند ٿيڻ يا غير برابر پالش ڪرڻ جهڙن مسئلن کي روڪي ٿي. لون ميٽر جا ان لائن سينسر سي ايم پي عمل کي بهتر بڻائڻ ۽ ويفر جي پيداوار کي بهتر بڻائڻ لاءِ حقيقي وقت ڊيٽا فراهم ڪن ٿا.
لون ميٽر جي غير نيوڪليئر سلري ڊينسٽي ميٽرن کي ڇا منفرد بڻائي ٿو؟
لون ميٽر جا نان نيوڪليئر سلري ڊينسٽي ميٽر هڪ ئي وقت ۾ کثافت ۽ ويسڪوسيٽي جي ماپ پيش ڪن ٿا، اعليٰ درستگي ۽ صفر سار سنڀال سان. انهن جي مضبوط ڊيزائن سي ايم پي پروسيس ماحول جي تقاضا ۾ اعتبار کي يقيني بڻائي ٿي.
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ڪيميائي ميڪيڪل پالشنگ جي عمل کي بهتر بڻائڻ لاءِ ريئل ٽائيم سلري ڊينسٽي ماپ ۽ ويسڪوسيٽي مانيٽرنگ اهم آهن. لون ميٽر جا نان نيوڪليئر سلري ڊينسٽي ميٽر ۽ ويسڪوسيٽي سينسر سيمي ڪنڊڪٽر سامان ٺاهيندڙن، سي ايم پي ڪنزيومبل سپلائرز، ۽ سيمي ڪنڊڪٽر فاؤنڊيريز کي سلري مئنيجمينٽ چئلينجن کي منهن ڏيڻ، نقص گهٽائڻ ۽ گهٽ قيمتن لاءِ اوزار فراهم ڪن ٿا. صحيح، ريئل ٽائيم ڊيٽا پهچائڻ سان، اهي حل عمل جي ڪارڪردگي کي وڌائين ٿا، تعميل کي يقيني بڻائين ٿا، ۽ مقابلي واري سي ايم پي مارڪيٽ ۾ منافعي کي هلائين ٿا. دورو ڪريولون ميٽر جي ويب سائيٽيا اڄ ئي انهن جي ٽيم سان رابطو ڪريو اهو معلوم ڪرڻ لاءِ ته لون ميٽر توهان جي ڪيميڪل ميڪيڪل پالشنگ آپريشن کي ڪيئن بدلائي سگهي ٿو.
پوسٽ جو وقت: جولاءِ-22-2025
